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Martin Dulig: »Sächsische Halbleiterbranche macht Europa krisenfester«

Martin Dulig: »Sächsische Halbleiterbranche macht Europa krisenfester«

Sachsens Wirtschafts- und Arbeitsminister Martin Dulig hat seinen zweiten Thementag dieses Jahres der strategisch wichtigen Halbleiterbranche gewidmet. Am 27. März besuchte er in Dresden, Freiberg (Landkreis Mittelsachsen) und Moritzburg (Landkreis Meißen) fünf Unternehmen der Mikroelektronik.

Energieknappheit, Ukraine-Krieg, Corona-Pandemie, weltweit gestörte Lieferketten: Die aktuellen Krisen, die in engem zeitlichen Abstand aufgetreten und miteinander verknüpft sind, gefährden die wirtschaftliche und gesellschaftliche Stabilität. Die Halbleiterbranche ist eine Schlüsselindustrie, um sich in diesen so genannten Polykrisen behaupten zu können. Der Industriezweig Mikroelektronik ist entscheidend für die Wettbewerbsfähigkeit der europäischen Volkswirtschaften und – angesichts der geopolitischen Umwälzungen – letztlich ebenso für die Sicherheit in Europa. »Silicon Saxony«, Europas größter Standort der Mikroelektronik, fertigt bereits jeden dritten in der EU produzierten Chip.

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Die Branche Mikroelektronik/Informations- und Kommunikationstechnik hat einen Anteil von jeweils 14 Prozent am sächsischen Industrieumsatz und am Auslandsumsatz der sächsischen Industrie. »Silicon Saxony bedeutet jedoch nicht Silicon Dresden«, sagt Wirtschaftsminister Martin Dulig. Im gesamten Hightech-Dreieck Dresden – Freiberg – Chemnitz sind rund 3.650 Betriebe mit 76.000 Beschäftigten tätig. Um die Branche in ihrer Vielfalt sowie aktuelle Entwicklungen zu beleuchten, besuchte Dulig exemplarisch fünf Halbleiterunternehmen, die Exzellenz mit Resilienz verbinden: Freiberger Compound Materials (Freiberg), Sachsen-Kälte (Dresden), Infineon (Dresden), Jenoptik Optical Systems (Dresden) und Adenso (Moritzburg).

»Unsere Gesellschaft benötigt Chips, um die Herausforderungen der Gegenwart zu meistern: Digitalisierung, Energiewende, Elektromobilität, Künstliche Intelligenz. Silicon Saxony deckt mit den hier wirkenden Forschungseinrichtungen, Produzenten, Software-Firmen, Zulieferern und Dienstleistern die gesamte Wertschöpfungskette der Mikroelektronik ab und besitzt damit ein absolutes Alleinstellungsmerkmal. Dazu ist Sachsen das deutsche Flächenland mit der größten Forschungsdichte. Dank dieser engen Verflechtung von Industrie, Spitzenforschung und Entwicklung ist der Freistaat hervorragend in Europa und der Welt aufgestellt. Das Know-how aus Sachsen hilft der EU, sich schrittweise aus der hohen Abhängigkeit vom US-amerikanischen und insbesondere vom asiatischen Markt zu lösen. ,Made in Saxony‹ stabilisiert die Lieferketten und macht Europa insgesamt krisenfester.«

Wirtschaftsminister Martin Dulig

Bosch, Globalfoundries, X-Fab und Infineon betreiben in Dresden einige der modernsten Halbleiterfabriken der Welt. Künftig werden auch Jenoptik (geplant ab 2025) und TSMC (als ESMC, voraussichtlich ab 2027) in Sachsen produzieren. Die Ansiedlung des taiwanesischen Halbleiterkonzerns TSMC in Dresden ist mit einem Umfang von rund zehn Milliarden Euro die bisher größte Einzelinvestition im Freistaat Sachsen. Sie macht »Silicon Saxony« zu einem der fünf größten Halbleiterstandorte der Welt – ein Quantensprung für den Wirtschafts- und Wissenschaftsstandort Sachsen insgesamt.

Dulig würdigte den sächsischen »Chip-Geist« der hiesigen Industrie und ihrer Beschäftigten: »Die Mikroelektronik profitiert von den vielen hoch qualifizierten Ingenieuren und Facharbeitern, die dazu beitragen, dass der Freistaat Sachsen in der Halbleiterindustrie eine Spitzenposition in Europa eingenommen hat. Unter dem Eindruck der neu entstehenden Produktionskapazitäten arbeiten wir verstärkt daran, dass Dresden auch künftig mit attraktiver Aus- und Weiterbildung sowie guten Beschäftigungschancen Heimat für Top-Leute aus nah und fern bleibt und wird.«

Freiberger Compound Materials GmbH (FCM)

Das privat geführte Familienunternehmen ist ein weltweit führender Hersteller von Verbindungshalbleitersubstraten für die Mikro- und Optoelektronik. Es liefert das Grundmaterial, auf dem die Halbleiterindustrie ihre Produkte herstellt. FCM besitzt in seiner Nische einen Weltmarktanteil von 70 Prozent und hat einen Technologievorsprung von vier bis fünf Jahren. In jedem Apple-Produkt, in den Rück- und Bremslichtern von Autos, im Glasfaser für das Internet und zukünftig in Anwendungen des Autonomen Fahrens steckt die Technologie aus Freiberg.

Minister Dulig informierte sich bei einem Rundgang durch die Fertigung über die galliumbasierte Halbleiterfertigung: der erste Teil widmete sich der Kristallzüchtung, der zweite Teil dem Wafer-Bereich mit Blick in den Reinraum. Das Hauptanwendungsgebiet für Freibergers halbisolierende GaAs-Wafer ist die Herstellung hochmoderner Hochfrequenzbauelemente zur elektronischen Signalverstärkung in der drahtlosen Kommunikation (4G/5G).

Martin Dulig im Bereich der Kristallzüchtung. | Bildrechte alle Fotos: SMWA/Jürgen Lösel
Martin Dulig im Gespräch mit CEO Dr. Michael Harz (rechts) und CTO Dr. Stefan Eichler (links).

Die Kristallzüchtung – Voraussetzung für die Wafer-Fertigung – erfolgt bei Temperaturen um die 1.400 Grad und dauert etwa neun bis 25 Tage. Dafür sind sowohl eine stabile Strom- und Rohstoffversorgung notwendig. 95 Prozent der weltweiten Galliumvorräte kommen aus China, das demzufolge den Weltmarkt bestimmt. Ein Kilogramm Gallium kostet gegenwärtig 300 bis 350 Dollar. Um das Unternehmen FCM autarker aufzustellen, nannte CEO Dr. Michael Harz drei Strategien: den Aufbau einer Lagerhaltung, ein verstärktes Recycling und den Aufbau einer Galliumproduktion außerhalb Chinas, was jedoch gewaltige Investitionen und einen mehrjährigen Vorlauf erfordere.

CEO Dr. Michael Harz (links) erläuterte Martin Dulig den Prozess der Wafer-Herstellung.

Das Unternehmen gehört zur international aufgestellten israelischen Firma Federmann Enterprises Ltd. Es wurde 1995 gegründet, baut jedoch auf die lange Tradition der Halbleiterindustrie auf, die seit 1957 in der Bergstadt Freiberg ansässig ist. In den vergangenen 25 Jahren wurden über 200 Millionen Euro in die moderne Fertigungsstätte mit einer derzeitigen Rein­raumfläche von 1.700 Quadratmetern einschließlich aufwendiger Analyse- und Messtechnik investiert. FCM beschäftigt etwa 350 hochqualifizierte Mitarbeiter und will am Standort Freiberg weiter wachsen.

Sachsen-Kälte GmbH Dresden

Der Spezialist für Kälte- und Klimatechnik (rund 40 Mitarbeiter) entwickelt und installiert u.a. die Klimatisierung in Serverräumen. Der Kundenstamm umfasst im Dax, Dow Jones und Nikkei notierte Unternehmen. Auch Ikea (erste Innenstadtfiliale in Hamburg), das im März 2024 eröffnete »Karls Erlebnis-Dorf« in Döbeln, Edeka und die Marine-Offiziersschule in Bremerhaven setzen auf die Kompetenzen des innovativen mittelständischen Betriebes. Bei seiner Japan-Reise im Jahr 2023 hat Wirtschaftsminister Martin Dulig den Geschäftsführer Tilo Neumann kennengelernt.

Ein »Hidden Champion« aus Dresden: Die Klimatechnik-Lösungen der Sachsen-Kälte GmbH sind weltweit gefragt.
Die beiden Geschäftsführer Tilo Neumann (links) und Jörg Hoheit (rechts) beim Rundgang mit dem Minister.

Das 1990 gegründete Unternehmen will seine Kapazitäten verdoppeln und dafür sowohl das Geschäftsfeld Spezialgeräte für die Halbleiterindustrie stärker ausbauen als auch tiefer in die Medizintechnik einsteigen. Nach dem Besuch des Fertigungsbereichs auf der Marie-Curie-Straße in Dresden-Kaditz informierte sich Martin Dulig am Standort eines 8.500 Quadratmeter großen Neubaus in Flughafennähe in Dresden-Klotzsche zur künftigen Herstellung der nächsten Generation von Kältesystemen. 2022 erfolgte der Spatenstich für das neue Firmengebäude. Dort sollen die Arbeitstätigkeiten an neuen zukunftsorientierten Chillern und Heat-Exchangern gebündelt werden. Das sind Spezial-Präzisionskühlgeräte für den Anlagenbau in der Halbleiterfertigung sowie für die Bio- und Medizintechnik. Zu den Kunden gehören u.a. die großen Halbleiterhersteller in Sachsen – Infineon, Globalfoundries und Bosch. Im Neubau soll auch ein neues Service-Center »Grüne Technologie der Zukunft« entstehen. Mit einer Photovoltaikanlage auf dem Dach wird das Unternehmen Strom generieren, mit dem Eis für die Kältetechnik erzeugt wird. Das Investitionsvolumen beträgt rund neun Millionen Euro. Die Fertigstellung ist im Juni 2024 geplant.

Tilo Neumann (rechts), Jörg Hoheit (links) und Martin Dulig beim Baustellenrundgang in Dresden-Klotzsche.

Infineon Technologies Dresden GmbH & Co. KG

Die Infineon-Ansiedlung im Dresdner Norden in den 1990er-Jahren mit damals rund 2.000 Arbeitsplätzen bildete den Nukleus des heutigen »Silicon Saxony« mit fast 80.000 Jobs. Der zunächst reine Fertigungsstandort entwickelte sich zu einem Produktions- und Fertigungsstandort weiter. Im Mai 2023 hat Infineon den Spatenstich für ein neues Werk in Dresden gesetzt. Diese Erweiterung ist mit einem Investitionsvolumen von fünf Milliarden Euro eine der größten Einzelinvestitionen in der Geschichte des Halbleiterproduzenten. Ein Start der Fertigung ist im Herbst 2026 geplant. Rund 1.000 hochqualifizierte Arbeitsplätze sollen zusätzlich entstehen.

Infineon will mit dieser Investition die Fertigungsbasis für Halbleiter stärken, die die Dekarbonisierung und Digitalisierung befördern. Analog/Mixed-Signal-Komponenten kommen in Systemen zur Stromversorgung zum Einsatz, etwa in energieeffizienten Ladegeräten, in kleinen Motorsteuerungen für das Auto, in Rechenzentren und in Anwendungen im Internet der Dinge. Das Zusammenspiel von Leistungshalbleitern und Analog/Mixed-Signal-Bausteinen macht besonders energieeffiziente und intelligente Systemlösungen möglich.

Laut Geschäftsführer Thomas Richter ergibt sich mit TSMC bzw. ESMC keine Konkurrenzsituation, sondern ein sich ergänzendes System. Erst das Zusammenwirken der großen Firmen ermögliche die Herstellung vollständiger Komponenten im Silicon Saxony. Ein Wettbewerb bestehe allerdings in der Gewinnung von Fachkräften. Richter betonte vor den Journalisten: »Wenn die Halbleiterei der Motor der Wirtschaft bleiben soll, brauchen wir Fachkräfte aus Deutschland, Europa und der Welt.« Infineon beschäftige in Dresden bereits 3.250 Mitarbeiter aus 50 Nationen.

In den Reinräumen, wo höchste Sauberkeits- und Hygienestandards gelten, informierte sich Martin Dulig u.a. über die hochautomatisierte Wafer-Fertigung.
Infineon-Geschäftsführer Thomas Richter (links) führte den Minister und die Medienvertreter durch die Reinräume des Halbleiterproduzenten.

Wirtschaftsminister Martin Dulig machte sich ein Bild vom aktuellen Stand der Bauarbeiten. Anschließend besichtigte er im Reinraum der weltweit höchstautomatisierten 200-Millimeter-Fabrik die siliziumbasierte Fertigung von Halbleiterkomponenten.

Hier entsteht Sachsens Zukunft: Infineon-Chef Thomas Richter schilderte dem Minister die Abläufe auf der Großbaustelle zur Erweiterung des Dresdner Werks. Martin Dulig zeigte sich beeindruckt von den Ausmaßen der Baustelle und der eingespielten Logistik.

Jenoptik Optical Systems GmbH Dresden

Jenoptik ist ein global agierender Photonik-Konzern, dessen Schlüsselmärkte Halbleiter & Elektronik, Life Science & Medizintechnik sowie Smart Mobility umfassen. Er beliefert den weltweiten Ausrüstungsmarkt für Halbleiterhersteller mit hochpräzisen Anwendungen im Nanometerbereich. Der weltweite Umsatz beträgt mehr als eine Milliarde Euro.

Standortleiter Dr. Andreas Morak (rechts) erklärte Martin Dulig das Modell für den Neubau, der gegenwärtig am Rande des Dresdner Flughafens entsteht.
Sonnige Aussichten: Vorstandsmitglied Dr. Ralf Kuschnereit (rechts), Standortleiter Dr. Andreas Morak (links) und Martin Dulig nahmen den Baufortschritt genau in den Blick.

Dresden ist einer der Hauptstandorte für den Bereich Mikrooptik. Jenoptik ist seit 2007 im Silicon Saxony ansässig und produziert hier Mikrooptiken und Sensoren, die in Lithografie-Anlagen von Halbleiterausrüstern zum Einsatz kommen. Damit ist das Unternehmen seit vielen Jahren ein verlässlicher Technologie- und Fertigungspartner dieser Industrie, die global einen enormen Bedarf an Halbleiterbauelementen und Mikroelektronik bedient. Ein Zusammenspiel von Hand und Auge prägt die Abläufe in der Fertigung der mikroskopischen Strukturen.

Standortleiter Dr. Andreas Morak (links) und Martin Dulig.

Derzeit investiert Jenoptik rund 90 Millionen Euro in den Standort Dresden. Ende 2024 wird im Airportpark Dresden in der Nachbarschaft des Bosch-Werks die neue Hightech-Fab planmäßig fertiggestellt. Produktionsstart im Reinraum soll Anfang 2025 sein; die Mitarbeiterzahl wird sich vor Ort auf insgesamt mehr als 120 Beschäftigte erhöhen.

#BleibOffen, eine Jenoptik-Kampagne für Weltoffenheit, erfährt nach Unternehmensangaben großen Zuspruch. Mit Gedanken wie »Nicht aufgeschlossen? Bei uns ausgeschlossen.« und »Wer sich abschottet, macht dicht.« wirbt Jenoptik, dessen Beschäftigte aus 29 Ländern stammen, für Neugier und Offenheit.

Adenso GmbH

Mit einem Rundgang durch die Fertigung der Adenso GmbH endete der Thementag. Martin Dulig informierte sich dort über innovative Robot-Anwendungen aus Silicon Saxony. Das 1998 gegründete Unternehmen ist auf die Entwicklung, den Aufbau und die Lieferung modularer Robot-Lösungen für Hochvakuum-Umgebungen spezialisiert. Das rund 50-köpfige Team mit Experten aus den Bereichen Maschinenbau, Elektroingenieurwesen und Softwaretechnik hat bereits rund 250 Projekte für Kunden der Halbleiter-, Optik- und Solarindustrie weltweit entwickelt.

Die Investitionen von Infineon und TSMC betrachtet Geschäftsführer Uwe Beier als Gewinn für den Mittelstand: »Davon profitiert Sachsen insgesamt. Je größer die Halbleiterbranche wird, desto mehr haben alle davon. Auch Handwerker und Dienstleister werden von den Ansiedlungen massiv profitieren.«

Zwei Moritzburger unter sich: Martin Dulig (rechts) und Adenso-Chef Uwe Beier beim Gedankenaustausch…
… und während der Besichtigung des Reinraums in der Fertigungshalle nahe des Globalfoundries-Werks.

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